迪奥数控
采用高纯度蓝宝石材料，通过迪奥五轴加工中心完成超精密平面加工。载板表面平面度误差≤0.002mm，粗糙度 Ra≤0.01μm，确保晶圆放置稳定性。边缘采用特殊倒棱工艺，避免晶圆装载时的边缘损伤，表面经过防静电处理，满足 Class 10 级洁净室要求。
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