迪奥数控
针对氧化铝陶瓷材料特性，采用迪奥高速加工中心配套专用刀具加工。腔体内部流道尺寸公差控制在 ±0.003mm，密封面平面度≤0.001mm，确保真空环境下的气密性。通过多轴联动技术实现复杂内部结构一次成型，减少装配误差，适用于等离子刻蚀设备。
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