迪奥数控
采用碳化硅陶瓷材料，通过迪奥五轴加工中心完成整体结构加工。机械臂臂身厚度仅 2mm 却保持高强度，关键部位圆角半径控制在 0.1mm±0.005mm。表面经过超精抛光处理，摩擦系数低至 0.02，避免晶圆搬运时的微粒产生，适用于 12 英寸晶圆自动化生产线。
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